作者｜黄楠
编辑｜袁斯来
硬氪获悉，瑞丽科学仪器（上海）有限公司（以下简称“瑞丽科学仪器”）近日完成数亿元B轮融资。本轮融资由金石投资、招商致远领投，轻控金鑫、河南资本、鼎庆投资等投资方也参与投资。
融资资金将用于高精度光学数量检测系列产品的研发和市场推广，丰富公司产品矩阵，加快产能扩张，加强公司市场拓展和品牌建设。
“瑞丽科学仪器”成立于2005年，是一家专业从事半导体前端工艺的定量测试设备公司。是国家高新技术企业、国家级专业“小巨人”。先后承担了两项国家级“02专项”，拥有完全自主的研发技术。公司总部位于上海浦东新区。其团队成员大部分来自全球排名前两位的定量检测设备公司和国内知名光学科技公司，拥有18年的产品研发和市场应用经验。
芯片检测设备可细分为检测和计量两大类。其中，测量是指对晶圆电路上的结构尺寸和材料特性的定量描述，包括膜厚、临界尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理参数的测量。检测是指检测晶圆表面或电路结构中是否出现异质状况，如颗粒污染、表面划伤、开路和短路等对芯片工艺性能产生负面影响的特征性结构缺陷。
定量检测设备贯穿于芯片制造的全过程，多用于工艺质量控制和保证产线良率。其中，随着芯片结构复杂程度的增加，光刻层数增加，每个光刻工艺周期都会带来多次检测要求。
近年来，随着国内半导体行业的快速发展和产业升级，对高端、精密半导体设备的需求不断增加。质量检测设备也被认为是晶圆厂设备（WFE）继蚀刻、薄膜沉积、光刻之后的第四大市场，约占半导体设备市场的13%。
然而，长期以来，全球半导体质量检测设备市场一直被国外龙头企业垄断。此前，我国半导体测量设备主要依赖美国、日本、荷兰、新加坡、韩国等进口，国产化率仅为5%左右。除光刻机之外的最低品类，目前面临着高端人才稀缺、技术壁垒高、量产困难、核心零部件对外依赖度高等多重挑战。
关注半导体产业和国产替代的广阔市场，“瑞丽科学仪器”聚焦光学技术，持续发力于高精度光学测量检测领域。提出自研算法模型和自主设计光学架构，打破国际厂商垄断，率先以先进工艺完成介质膜厚测量产品和明场缺陷图案检测产品的交付和规模化量产技术节点。
“瑞丽科学仪器”部分产品图片
经实际检测，公司产品成熟度高，量产性能可与国外同类设备水平相媲美。可靠性经过10多年的验证，并通过了各客户不同生产工艺线上的大规模量产验证。
目前，“瑞丽科学仪器”的客户涵盖逻辑代工、3D闪存、动态存储器、先进封装等领域。广泛应用于300mm、200mm、150mm晶圆厂，出货量超过数百台。
硬氪获悉，“瑞丽科学”每年的研发投入比例高达40%。本次融资完成后，有望吸引更多高端人才加盟，继续保持高强度的产品研发投入。公司在上海浦东拥有生产基地，年生产能力150余台，达产后可支撑年产值15亿元。
投资者观点：
金石投资表示，半导体设备是半导体产业的基石。我国半导体产业的蓬勃发展依赖于半导体设备的技术和产品突破，而数量测试是关键环节。作为国内最早批量检测设备公司，瑞丽科学吸引了国内外顶尖人才，坚持技术创新，专注光学技术。我们相信瑞丽科学将继续保持技术和产品领先，帮助先进工艺实现国产替代。的突破和发展。
招商致远表示，半导体质检设备面临巨大的市场空间和国产替代机会，同时也具有较高的壁垒。招商致远看好半导体质量检测赛道，期望瑞立科学凭借优秀的团队以及多年的技术积累和量产经验，成为该细分领域的领跑者。
