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芯片封测的重要性:从晶圆到成品的保护与适应使用场景

作者:软荐小编      2025-04-24 14:02:23     125

从今日起,我们来谈谈芯片的封装以及测试。(一般将其简称为“封测” )

封装芯片原理图__芯片封装过程视频

这一部分在行业中被称作后道(Back End)工序,通常由 OSAT 封测厂(Outsourced Semiconductor Assembly and Test,即外包半导体封装与测试)来负责。

封装的目的

先说封装。

封装这个词,我们时常会听到。它主要指的是将晶圆上的裸芯片(晶粒)转变为最终成品芯片的这一过程。

封装芯片原理图_芯片封装过程视频_

之所以要做封装,主要目的有两个。

一个是对脆弱的晶粒进行保护,以避免其遭受物理磕碰而受到损伤,同时也避免空气中的杂质对晶粒的电路造成腐蚀。

二是让芯片更适应使用场景的要求。

芯片存在诸多应用场景。各个不同的场景,对于芯片的外型有着各异的要求。实施恰当的封装,便可以使芯片更为良好地进行工作。

封装芯片原理图__芯片封装过程视频

我们平时会看到很多种外型的芯片,其实就是不同的封装类型

封装的发展阶段

封装工艺伴随芯片的出现而出现,迄今为止已有70多年的历史。

总的来看,封装工艺一共经历了五个发展阶段:

封装芯片原理图_芯片封装过程视频_

接下来,我们一个个来说。

传统封装

早期的晶体管使用的是 TO(晶体管封装)。之后,逐步发展出了 DIP(双列直插封装)。

芯片封装过程视频_封装芯片原理图_

我们最熟悉的三极管造型,就是TO封装

后来,PHILIP 公司开发出了 SOP(小外型封装)。接着逐渐派生出 SOJ(J 型引脚小外形封装)、TSOP(薄小外形封装)、VSOP(甚小外形封装)、SSOP(缩小型 SOP)、TSSOP(薄的缩小型 SOP)以及 SOT(小外形晶体管)、SOIC(小外形集成电路)等。

_封装芯片原理图_芯片封装过程视频

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DIP内部构造

这些封装属于传统封装。

传统封装,主要依靠引线将晶粒与外界建立电气连接。

封装芯片原理图_芯片封装过程视频_

这些传统封装到现在还比较常见。一些老的经典型号芯片尤其如此,因为它们对性能和体积的要求不高,所以仍会采用这种低成本的封装方式。

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1990 年到 2000 年是第三阶段。在这一阶段,IT 技术革命加快了普及的速度。芯片的功能变得越来越复杂,这就需要更多的针脚。同时,电子产品在朝着小型化的方向发展,这又要求芯片的体积继续缩小。

这时,球型矩阵封装(BGA)和球栅阵列封装开始出现,并且它们成为了主流。

BGA属于传统封装。其接脚处在芯片下方,接脚数量众多。这种特性使得它非常适合那些需要大量接点的芯片。同时,与 DIP 相比,BGA 的体积较为紧凑,这使其非常适合需要小型化设备的情况。

芯片封装过程视频__封装芯片原理图

BGA封装

封装芯片原理图_芯片封装过程视频_

BGA封装内部

和 BGA 有相似之处的,还有 LGA(平面网格阵列封装)以及 PGA(插针网格阵列封装)。大家可以注意到,我们最为熟悉的 CPU 采用的就是这三种封装。

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先进封装

传统封装开始向先进封装演变。

芯片级封装(CSP)强调尺寸更小型化,其封装面积不超过芯片面积的 1.2 倍。与 BGA 这样的封装相比,CSP 更注重这一点。

封装芯片原理图_芯片封装过程视频_

封装的层级(来自 Skhynix)

晶圆级封装是芯片级封装的一种,封装的尺寸接近裸芯片大小。

下期讲具体工艺时会提及,封装包含切割工艺。传统封装是先对晶圆进行切割,然后进行封装。而晶圆级封装则是先进行封装,再对晶圆进行切割,两者的流程不同。

_封装芯片原理图_芯片封装过程视频

晶圆级封装

倒装封装(Flip Chip)发明时间较早。在 1960 年代,IBM 发明了该技术。然而,直至 1990 年代,此技术才开始普及。

不再用金属线连接,而是把晶圆直接反过来,通过晶圆上的凸点(Bump)与基板进行电气连接,这就是采用倒装封装。

倒装封装的 I/O(输入/输出)通道数比传统金属线方式更多。倒装封装的互连长度缩短了。倒装封装的电性能更好。此外,倒装封装在散热方面有优势。倒装封装在封装尺寸方面也有优势。

芯片封装过程视频__封装芯片原理图

先进封装的出现,迎合了当时时代发展的需求。

它运用先进的设计与工艺,对芯片实施封装级的重构。这样做使得引脚数量增多了,体积变得更小了,系统集成度也更高了。并且,它能够使系统的性能得到大幅提升。

21 世纪到来后,移动通信和互联网革命进一步爆发。这促使芯片封装朝着高性能、小型化、低成本、高可靠性等方向发展。先进封装技术开始步入高速发展的阶段。

这一时期,芯片内部布局开始往三维空间发展,不再局限于二维。多个晶粒被塞在一起,陆续出现了 2.5D/3D 封装这种技术,还有硅通孔(TSV)、重布线层(RDL)、扇入(Fan-In)型晶圆级封装、扇出(Fan-Out)型晶圆级封装以及系统级封装(SiP)等先进技术。

芯片封装过程视频__封装芯片原理图

芯片制程发展逐渐靠近摩尔定律的底线时,这些先进的封装技术便成为了延续摩尔定律的重要手段,犹如“救命稻草”一般。

先进封装的关键技术 2.5D/3D封装

2.5D和3D封装,都是对 芯片进行堆叠封装。

2.5D 封装技术能够把两种或者更多种类的芯片放置到单个封装当中,并且能够让信号进行横向传送,通过这种方式可以使封装的尺寸得以提升,同时也能提升封装的性能。

广泛使用的 2.5D 封装方法是这样的:通过硅中介层(Interposer),把内存和逻辑芯片(GPU 或 CPU 等)放置到单个封装之中。

2.5D 封装需要用到一些核心技术,其中包括硅通孔(TSV),还需要用到重布线层(RDL),同时也需要用到微型凸块等。

芯片封装过程视频__封装芯片原理图

3D 封装是一种封装技术,在同一个封装体内,能够在垂直方向上叠放两个或两个以上的芯片。

封装芯片原理图_芯片封装过程视频_

2.5D和3D封装的主要区别在于:

2.5D 封装是在 Interposer 上进行相关操作,包括布线和打孔。3D 封装则是直接在芯片上进行打孔以及布线,以此来连接上下层的芯片堆叠。相比较而言,3D 封装在要求方面更高,难度也更大。

2.5D 封装起源于 FLASH 存储器(NOR/NAND )及 SDRAM 的需求。3D 封装也起源于 FLASH 存储器(NOR/NAND )及 SDRAM 的需求。大名鼎鼎的 HBM(High Bandwidth Memory,高带宽存储器),它是 2.5D 封装的典型应用。大名鼎鼎的 HBM 也是 3D 封装的典型应用。将 HBM 和 GPU 进行整合,能够让 GPU 的性能进一步发挥出来。

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HBM,对于GPU很重要,对AI也很重要

HBM利用硅通孔等先进封装工艺,将多个 DRAM 进行垂直堆叠,并且在 Interposer 上与 GPU 封装在一起。HBM 内部的 DRAM 是通过堆叠实现的,这属于 3D 封装。同时,HBM 与 GPU 在 Interposer 上进行合封,这种情况属于 2.5D 封装。

现在业界很多厂商推出的新技术,像 CoWoS 等,是由 2.5D 封装演变而来的;还有像 HBM 等,也是由 2.5D 封装演变而来的;像 Co-EMIB 等,同样是由 2.5D 封装演变而来的;像 HMC 等,依旧是由 2.5D 封装演变而来的;像 Wide-IO 等,还是由 2.5D 封装演变而来的;像 Foveros 等,也是由 2.5D 封装演变而来的;像 SoIC 等,同样是由 2.5D 封装演变而来的;像 X-Cube 等,还是由 2.5D 封装演变而来的。

系统级封装(SiP)

大家都曾听闻过 SoC(System on Chip,系统级芯片)。我们手机当中的那个主芯片,其实就是 SoC 芯片。

SoC 简单而言,是把多个原本具备不同功能的芯片进行整合设计,使其置于一颗单一的芯片里。这样做能够最大程度地减小体积,达成高度集成。

SoC 的设计难度较为巨大。并且还必须获得其他厂商的 IP(知识产权)授权,这使得成本有所增加。

_芯片封装过程视频_封装芯片原理图

SiP 是 System In Packet,即系统级封装。它和 SoC 是不一样的。

SiP 直接使用多个芯片,通过并排或叠加的方式(2.5D/3D 封装),将它们封装在一个单一的封装体内。

SiP 的集成度没有 SoC 那样高,不过也能够满足需求。它还能减少尺寸,最为重要的是它更灵活,成本也更低,因为它避免了繁琐的 IP 授权步骤。

业界常提及的 Chiplet(小芯粒、小芯片),其本质是 SiP 的思路。它把一类能够满足特定功能的裸片(die),利用 die-to-die 的内部互联技术,相互连接从而形成大芯片。

硅通孔(TSV)

提到了硅通孔( through silicon via,TSV,也叫硅穿孔 ),并且是反复提到的。

硅通孔的原理挺简单。在硅介质层上进行刻蚀,形成垂直通孔。接着填充金属。通过这样的方式实现上下层的垂直连接,也就达成了电气连接。

_芯片封装过程视频_封装芯片原理图

垂直互连线距离短且强度高。因此,硅通孔能更易实现小型化,能更易实现高密度,能更易实现高性能等优点,并且非常适合叠加封装(3D 封装)。

硅通孔的具体工艺,我们下期再做介绍。

重布线层(RDL)

RDL 会在芯片表面进行操作,先沉积金属层以及相应的介电层,接着形成金属导线,同时把 IO 端口重新设计到新的且更宽敞的区域,从而形成表面阵列布局,以此实现芯片与基板之间的连接。

芯片封装过程视频_封装芯片原理图_

RDL技术

简单来说,就是在硅介质层内部重新进行连线,以保证上下两层能够实现电气连通。在 3D 封装里,倘若上下堆叠的是不同类型的芯片(其接口不对齐),那就需要借助 RDL 重布线层,把上下层芯片的 IO 进行对准。

封装芯片原理图__芯片封装过程视频

业界的很多技术,像 WLCSP、FOWLP、INFO、FOPLP、EMIB 等,都是以 RDL 技术为基础的。

扇入(Fan-In)/扇出(Fan-Out)型晶圆级封装

WLP 能够分为两类,一类是扇入型晶圆级封装(Fan-In WLP),另一类是扇出型晶圆级封装(Fan-Out WLP)。

扇入型是在晶圆上直接进行封装的。封装完成之后会进行切割。布线工作都在芯片尺寸范围内完成。封装的大小和芯片尺寸是相同的。

芯片封装过程视频_封装芯片原理图_

扇出型基于晶圆重构技术,会把切割后的各芯片重新布置到人工载板上。接着进行晶圆级封装,之后再进行切割。布线既可以在芯片内,也可以在芯片外。这样得到的封装面积通常比芯片面积大,但能提供的 IO 数量会增加。

目前量产最多的,是扇出型产品。

以上,小枣君尽可能简单地介绍了一些封装的背景知识。

下一期,我要开始介绍封装的主要工艺。敬请关注!

参考文献:

1、《芯片制造全工艺流程》,半导体封装工程师之家;

2、《 一文读懂芯片生产流程》,Eleanor羊毛衫;

3.、《 不得不看的芯片制造全工艺流程》,射频学堂;

《先进封装是什么?它与传统封装的区别是什么?又该如何分类?》,失效分析工程师赵工。

《一文来了解先进封装中的倒装芯片(FlipChip)技术》,这是半导体的全面解读;

《一文来了解硅通孔(TSV)以及玻璃通孔(TGV)技术》,这是圆圆的圆所进行的半导体全解;

《先进封装发展的充要条件已经具备,关键材料的国产替代即将到来》,国金证券;

8、《 Chiplet先进封装大放异彩》,民生证券;

9、维基百科、百度百科、各厂商官网。

本文来自微信公众号,作者:小枣君,36氪经授权发布。

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